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    강좌소개

    강좌 소개

    수업내용/목표

    본 강좌는 나노공정의 다양한 원리와 방법론을 익히고,이에 대한 기본적인 이해를 바탕으로 공정(fabrication)을 넘어서 생산(manufacturing)을 위한 방법과 새로운 시도에 대해 공부하여 주체적으로 나노공정을 제시할 수 있도록 한다.

    홍보/예시 영상

    강좌 운영 계획

    강 좌 명

    나노 공정과 생산

    학습목표

    본 강좌는 나노 공정의 다양한 원리와 방법론을 익히고, 이에 대한 기본적인 이해를 바탕으로 공정(fabrication)을 넘어서 생산(manufacturing)을 위한 방법과 새로운 시도에 대해 공부하여 주체적으로 나노공정을 제시할 수 있도록한다.

    교재 및 참고자료

    PDF 자료 제공

    주차별 수업계획

    주차

    주차명

    (주제)

    주차별 학습 목표

    차시

    차시명

    강좌운영방법

    학습내용

    수업방법

    평가방법

    학습자료

    1

    나노공

    정 소개 (Introdu

    ction to

    nanofab

    rication

    이번 주차를 학습한 학습자는 나노공정을 크게 어떻게 분류하고, 그 안에 세부적으로 어떤 나노공정들이 있는지 설명할 수 있을 것입니다.

    1-1

    나노공정의 전반적인 소개

    (General introduction to

    nanofabrication)

    강좌영상

    (15×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    1-2

    나노공정에 대한 소개

    (탑다운 공정)

    (Introduction to top-down

    nanofabrication

    강좌영상

    (20×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    1-3

    나노공정에 대한 소개

    (바텀업 공정)

    (Introduction to bottom-up

    nanofabrication

    강좌영상

    (16×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    2

    나노공

    기초(1)

    (Basis

    of

    nanofab

    rication(

    1))

    이번 주차를 학습한 학습자는 일반적인 나노구조체를 만들기 위한 반도체 공정의 초기 단계를 이해하고 설명할 수 있을 것입니다.

    2-1

    포토리소그래피

    (Photolithography)

    강좌영상

    (17×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    2-2

    포토리소그래피 심화

    (Advanced techniques of

    photolithography)

    강좌영상

    (24×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    2-3

    박막증착 (화학증착법)

    (Chemical deposition)

    강좌영상

    (12×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    3

    나노공

    기초(2)

    (Basis

    of

    nanofab

    rication(

    2)

    이번 주차를 학습한 학습자는 일반적인 나노구조체를 만들기 위한 반도체 공정의 후기 단계를 이해하고 설명할 수 있을 것입니다.

     

    3-1

    박막증착 (물리증착법)

    (Physical deposition)

    강좌영상

    (15×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    3-2

    에칭 (습식 식각)

    (Wet etching)

    강좌영상

    (15×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    3-3

    에칭 (건식 식각)

    (Dry etching)

    강좌영상

    (9×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    4

    나노공

    (Top-do

    wn)

    (Top-do

    wn

    nanofab

    rication

    이번 주차를 학습한 학습자는 반도체 공정 외에 나노구조체를 만들기 위한 다양한 탑다운 공정들을 심도있게 이해하고 설명할 수 있을 것입니다.

    4-1

    전자빔 리소그래피

    (Electon-beam lithography

    강좌영상

    (10×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    4-2

    전자빔 리소그래피 심화

    (Advanced techniques of

    electron-beam lithography

    강좌영상

    (12×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    4-3

    집속이온빔 밀링

    (Focused ion-beam milling

    강좌영상

    (7×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    5

    나노 공

    (Bottom

    -up)

    (Bottom

    -up

    nanofab

    rication

    이번 주차를 학습한 학습자는 반도체 공정 외에 나노구조체를 만들기위한 다양한 바텀업 공정들을 심도있게 이해하고 설명할 수 있을 것 입니다.

    5-1

    VLS 공정

    (Vapor-liquid-solid method

    강좌영상

    (5×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    5-2

    자기조립 공정 (나노입자)

    (Self assembly:

    nanoparticle)

    강좌영상

    (13×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    5-3

    자기조립 공정

    (단분자막/DNA)

    (Self assembly:

    monolayer/DNA)

    강좌영상

    (8×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    6

    나노 생

    (Nanom

    anufactu

    ring)

    이번 주차를 학습한 학습자는 나노구조체를 실용적으로 생산하기 위한 나노공정들을 알고 최신공정 방법론을 폭넓게 배움으로써 주체적으로 새로운 공정 방법론을 제시할 수 있을 것입니다.

    6-1

    간섭 리소그래피

    (Interference lithography)

    강좌영상

    (10×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    6-2

    임프린팅

    (Nanoimprint lithography

    강좌영상

    (9×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    6-3

    최신 기타 방법

    (Advanced nanofabrication

    강좌영상

    (11×1)

    퀴즈

    PDF 제공

    7

    기말고사


     

    강좌 수강 정보

    이수/평가정보

    이수/평가정보
    과제명퀴즈토론중간고사기말고사
    반영비율60%0%0%40%

    ※ 총 60% 이상 점수 획득 시, 이수증을 발급 받을 수 있습니다.

    강좌 수준 및 선수요건

    전공 기초

    교재 및 참고문헌

    교재없음 (PDF자료 제공)

    Nanofabrication handbook Edited by Stefano Cabrini, Satoshi Kawata, CRC Press, 2012

    미리보기
    강좌운영진
    • 노준석 교수

      ○소속 : 포항공과대학교 기계공학과

      ○이메일 : jsrho@postech.ac.kr


      학력

      ◯ 2007 서울대학교, 기계항공공학부 학사

      ◯ 2008 University of Illinois, Urbana-Champaign, 기계공학 석사

      ◯ 2013 University of California, Berkeley 기계공학/나노공학 박사


      경력

      ◯ 2013-2014 Argonne National Laboratory Ugo Fano Fellow

      ◯ 2014-2018 포항공과대학교 기계공학과/화학공학과 조교수

      ◯ 2015-현재 포항공과대학교 시스템생명공학부 겸임교수

      ◯ 2017-2018 국가과학기술자문회의 전문의원

      ◯ 2018-현재 포항공과대학교 기계공학과/화학공학과 부교수 (무은재 석좌교수)

      ◯ 2018-현재 연세대학교 글로벌융합공학부 겸임교수

      ◯ 2020-현재 포항공과대학교 창의IT융합공학과 겸임교수

      ◯ 2020-현재 포항공과대학교 인공지능대학원 겸임교수

      ◯ 2021-현재 POSCO-POSTECH-RIST 메타포토닉스 평면광학 연구소 디렉터


      주요업적 및 수상경력

      ◯ 2019 젊은과학자상 (대통령상) 수상 (공학 제2군)

      ◯ 2021 한국광학회 해림광자공학상 수상

      ◯ 2022 한국공학한림원 젊은공학인상 수상


      연구분야

      ◯ 나노광학, 나노공정, 메타물질, 플라즈모닉스

    • 강도현 조교

      ○소속 : 포항공과대학교 기계공학과

      ○이메일 : kdh99@postech.ac.kr

    분야 공학 (기계 · 금속)

    난이도 전공기초

    운영기관 포항공과대학교

    이수증 발급

    주차 7 주

    학습인정시간 4시간 30분 (05시간 19분)

    수강신청기간 24.04.01 ~ 24.12.31

    강좌운영기간 24.04.01 ~ 24.12.31

    전화번호 054-279-8107

    자막언어 한국어 외 1건

    강좌언어 한국어(ko)

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